下载光罩护膜框及其制造方法的技术资料

文档序号:14956657

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本发明提供在能够防止雾产生的同时、聚光灯下的表面闪烁缺陷得到减少的光罩护膜框及其制造方法。本发明为光罩护膜框以及光罩护膜框的制造方法,其中光罩护膜框是由铝或铝合金形成的铝框材的表面上具有阳极氧化皮膜的光罩护膜框,阳极氧化皮膜包括使用碱性阳极...
该专利属于日本轻金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本轻金属株式会社授权不得商用。

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