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保持装置、光刻设备以及物品制造方法，保持装置包括：具有孔的保持构件，孔用于排空基板和保持构件之间的空间中的空气；和环形密封构件，其位于保持构件的阶梯部分的下表面上，用于限定所述空间。第一区域是与保持构件的表面的平面图形的中心同心并且通过减小...
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