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本发明公开一种高性能氮化硅密封环的制备方法，包括：（1）准备原料：氮化硅粉、氧化镁、氧化铝、氧化钇；（2）将原料、粘结剂加入到无水乙醇中，混匀，得到氮化硅复合粉料浆；（3）采用闭环造粒方式对氮化硅复合粉浆料进行喷雾造粒，制得氮化硅造粒粉；（...
该专利属于中国工程物理研究院材料研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院材料研究所授权不得商用。

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