专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
三菱瓦斯化学株式会社
>
液体组合物及使用其的蚀刻方法技术
>技术资料下载
下载液体组合物及使用其的蚀刻方法的技术资料
文档序号:14948134
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及液体组合物及使用其的蚀刻方法,所述液体组合物用于对形成在含有铟、镓、锌及氧的氧化物上的铜或以铜作为主要成分的金属化合物进行蚀刻,所述蚀刻方法的特征在于使该液体组合物与具有铜或以铜作为主要成分的金属化合物的基板接触。本发明的液体组合...
该专利属于三菱瓦斯化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱瓦斯化学株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。