下载具有机械元件和用于驱动和/或检测该元件的移动的光滤波器的光学机械装置的技术资料

文档序号:14947335

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根据本发明的装置包括:支撑件(30),在所述支撑件上有:机械元件(34)的阵列(32),所述机械元件锚定至所述支撑件并能够相对于所述支撑件移动,以及驱动和/或检测装置,所述驱动和/或检测装置用于驱动所述元件和/或检测所述元件的移动或所述移动...
该专利属于原子能和替代能源委员会;加利福尼亚技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过原子能和替代能源委员会;加利福尼亚技术学院授权不得商用。

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