下载一种新型高纯石英坩埚及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种新型高纯石英坩埚及其制备方法,新型高纯石英坩埚,包括坩埚本体、坩埚内表面的高纯石英陶瓷涂层。具体步骤是在石英坩埚生坯上,制作高纯石英陶瓷涂层,经过低温干燥、高温烧结得到新型高纯石英坩埚。这样的设计结构首先可以实现高纯石英陶瓷...
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