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一种微型泵的振动源晶片及微型泵制造技术
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文档序号:14941848
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本发明公开了一种微型泵的振动源晶片及微型泵,所述振动源晶片包括碱土焦硼酸钠‑铝硅酸盐玻璃基片和压电陶瓷晶片,所述碱土焦硼酸钠‑铝硅酸盐玻璃基片上粘贴导电线路后作为电极,所述压电陶瓷晶片粘贴于所述导电线路上。所述微型泵包含该振动源晶片。玻璃具...
该专利属于林永群所有,仅供学习研究参考,未经过林永群授权不得商用。
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