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本发明公开了一种氢气中痕量磷杂质的检测装置及检测方法，其先采用变温浓缩装置对氢气中的磷杂质进行浓缩，然后将其解吸后用气相色谱仪FPD检测器检测磷杂质的峰面积，外标法定量，检出限低至亚ppb级，能满足电子级多晶硅对氢气的质量要求。本发明检出限...该专利属于中国南玻集团股份有限公司;宜昌南玻硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国南玻集团股份有限公司;宜昌南玻硅材料有限公司授权不得商用。