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本实用新型公开一种研磨头及研磨装置，所述研磨头包括基座、吸附机构、设置于所述基座和吸附机构之间并与两者连接的密封圈、至少一个主动部件和被动部件，所述主动部件固定于所述基座上，所述被动部件固定于所述吸附机构上，所述主动部件跟随所述基座进行旋转...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。