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一种适用于大面积镀膜的线性镀膜源及其真空镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种适用于大面积镀膜的线性镀膜源及其真空镀膜装置的技术资料
文档序号:14933889
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本实用新型一种适用于大面积镀膜的线性镀膜源及其真空镀膜装置,包括填料容器、开关及蒸发容器,该填料容器与所述蒸发容器连接,所述开关设置在填料容器与蒸发容器之间用于控制填料容器中的物料进入蒸发容器,该蒸发容器内设置有加热元件,该加热元件用于将进...
该专利属于中山瑞科新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山瑞科新能源有限公司授权不得商用。
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