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光学传感式三维高精度接触扫描测量探头制造技术
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文档序号:14933430
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本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头,其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片,十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端,“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上,形成十字悬浮片在圆环座中的悬...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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