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一种沟槽肖特基二极管制造技术
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下载一种沟槽肖特基二极管的技术资料
文档序号:14932174
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本实用新型公开了一种沟槽肖特基二极管,包括沟槽,且所述沟槽的侧壁外侧设有N型注入区,且所述沟槽的底部设有P型注入区。实用新型给出了一种沟槽肖特基二极管(TMBS)结构及其制造方法。相对于常规TMBS:其提高了耐压、减小了正向压降、提高了开关...
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