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本发明公开了一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。所述的低横向灵敏度隧道电流式加速度计由主芯片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成。其中主芯片(1)由质量块(4)、支撑梁(5)、引线桥(6)、隧道电极...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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