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本发明提供湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法，该方法用于防止氮化镓基垂直LED片硅腐蚀液湿法剥离过程中不被腐蚀，该氮化镓基垂直LED片自下至上依次由硅衬底、LED外延层和金属衬底复合而成；该方法依次包括清洗、旋涂表面处理剂、旋...
该专利属于河源市众拓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河源市众拓光电科技有限公司授权不得商用。

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