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本发明一般性地涉及用于使MEMS DVC器件中的板电极或切换元件阻尼的方法及装置。布置在波形控制器和MEMS DVC的电极之间的电阻器使得在板电极移动期间电压增大而同时电容减小。由于电压增大以及电容减小，抵抗板电极远离电极移动的静电力增大，...
该专利属于卡文迪什动力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡文迪什动力有限公司授权不得商用。

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