下载一种石墨烯薄膜晶体管的制备方法的技术资料

文档序号:14923493

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种石墨烯薄膜晶体管的制备方法,该方法包括:在铜箔表面沉积石墨烯层;在石墨烯层表面沉积金属层;在金属层表面贴合支撑层,形成石墨烯膜片;将石墨烯膜片放在铜腐蚀液中,其中支撑层部分沉浸在铜腐蚀液中,而金属层、石墨烯层和铜箔完全沉浸在铜...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。