下载一种可移动的节约型半导体研磨装置的技术资料

文档序号:14919208

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本实用新型公开了一种可移动的节约型半导体研磨装置,包括研磨装置本体、第一电动机、第一电动伸缩杆、第一研磨石、第三电动机、第二研磨石、第二电动伸缩杆、轴承、第二电动机、潜水泵和滚轮,所述第一电动机的转动端通过轴承与第一电动伸缩杆的气缸端固定连...
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