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基于同型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法技术
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下载基于同型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法的技术资料
文档序号:14908215
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本发明涉及基于同型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法。本发明氧化处理的单晶硅片Si作为绝缘基体,在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端,分别取硝酸锌和氯化锡的混合粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀溶液作为前驱体,将前驱体通过非雾化喷...
该专利属于扬州大学所有,仅供学习研究参考,未经过扬州大学授权不得商用。
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