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一种基于体GaN材料的单片集成器件及其制备方法技术
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文档序号:14905281
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本发明提供一种基于体GaN材料的单片集成器件,包括:GaN衬底;发光二极管,位于所述GaN衬底上,自下而上依次包括n型GaN层、发光层、p型 GaN层和顶电极;以及Fin‑HEMT,位于所述GaN衬底上,包括多个鳍片、栅极和源极,其中,所述...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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