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本发明属于无机纳米材料制备和应用领域，涉及一种成膜硅溶胶及其制备方法与应用。本发明提供一种成膜硅溶胶，按质量百分比计，包括以下组分：硅溶胶66～91%；改性剂0.1～1.8%；成膜助剂7.2～33.9%。本发明还进一步提供了一种成膜硅溶胶的...该专利属于上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。