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本发明提供一种SF6气体传感器及其放电电极的制备方法，SF6气体传感器的传感头中的放电电极为经MEMS工艺制备的放电电极阵列，且所述放电电极阵列为微纳结构；且其外围控制电路中设有传感器控制电路切换系统。放电电极的制备方法包括采用体硅微加工技...该专利属于国网智能电网研究院;国家电网公司;国网山东省电力公司泰安供电公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网智能电网研究院;国家电网公司;国网山东省电力公司泰安供电公司授权不得商用。