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本发明公开了一种光刻胶涂布装置，包括：喷嘴、光电探测器、光学元件，以及控制器；其中，光学元件，用于将光电探测器出射的光线分为第一光线和第二光线，将第一光线和第二光线分别入射至已涂覆光刻胶的基板表面和未涂覆光刻胶的基板表面，并将已涂覆光刻胶的...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。