下载合金靶与硫化物靶共溅射制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法的技术资料

文档序号:14900323

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法,包括以下步骤:将衬底依次用去污粉、丙酮、酒精、去离子水超声清洗、并用重镉酸钾浸泡,再用去离子水超声清洗,并吹干备用;将清洗好的衬底放入磁控溅射系统沉积1μm的多层钼背电极;以Cu-Sn合金靶和Z...
该专利属于云南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过云南师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。