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合金靶与硫化物靶共溅射制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法技术
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文档序号:14900323
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本发明公开了一种制备铜锌锡硫薄膜吸收层的方法,包括以下步骤:将衬底依次用去污粉、丙酮、酒精、去离子水超声清洗、并用重镉酸钾浸泡,再用去离子水超声清洗,并吹干备用;将清洗好的衬底放入磁控溅射系统沉积1μm的多层钼背电极;以Cu-Sn合金靶和Z...
该专利属于云南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过云南师范大学授权不得商用。
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