下载漏电测试结构及晶圆结构的技术资料

文档序号:14893128

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本发明涉及一种漏电测试结构,包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的阱区和至少一个注入窗口,从所述注入窗口注入的离子的类型与所述形成阱区的类型一致,所述类型为P型或N型;位于所述阱区上方的依次层叠的导电层和绝缘层;嵌入在所述绝缘层中的至少两个接...
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