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本发明提供了一种复合传感器，包括加速度传感器和压力传感器，所述复合传感器基于的晶圆包含器件层、中间的刻蚀自停止掩膜层和半导体结构层，所述的半导体结构层设置有压力空腔和加速度传感器限位空腔，以及在加速度传感器一侧设置有附加质量块和/或在压力传...
该专利属于广东合微集成电路技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东合微集成电路技术有限公司授权不得商用。

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