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本发明涉及一种无墨点晶圆外观检查方法及其检查系统，该系统包括读取装置、移动载台、影像撷取装置、显示装置、控制装置以及游标装置，运用的方法为：读取晶圆序号，该显示装置显示晶圆映射图；将放置晶圆于该移动载台上，调整该影像撷取装置的焦距，该显示装...
该专利属于京隆科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京隆科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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