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基板加热装置制造方法及图纸
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下载基板加热装置的技术资料
文档序号:14882662
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本发明的基板加热装置可包括:加热板,其加热基板;引导部,其具有贯通所述加热板的贯通孔结构;顶杆,其通过所述引导部上升及下降,支撑向所述加热板上移送的所述基板;以及热损失防止部件,其防止从所述加热板向所述基板传递的热发生损失,在所述加热板上包...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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