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大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法技术
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文档序号:1487725
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本发明公开了一种大尺寸陶瓷溅射靶材的热压烧结成型方法,其方法步骤如下:A)称取制作靶材的粉体原料;B)按制作靶材的直径要求选定同直径的模具;C)将模具放进上加压、固定下压头基准面的热压炉炉体中;D)采用振动漏斗法装料,测量并保证模具内各局部...
该专利属于北京有色金属研究总院所有,仅供学习研究参考,未经过北京有色金属研究总院授权不得商用。
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