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一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法技术
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下载一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法的技术资料
文档序号:14877208
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本发明提供了一种轴向与基底平行的圆形微同轴金属结构的制备方法,首先在基底上表面涂覆释放层,得到涂覆有释放层的基底;在释放层表面制备纵向圆形微同轴金属结构,得到轴向与基底垂直的圆形微同轴金属结构;将释放层去除,使圆形微同轴金属结构与基底分离,...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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