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一种微环波导器件制造技术
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文档序号:14870757
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本发明公开了一种微环波导器件,包括微环谐振腔、直波导、第一支架、第二支架和衬底;其中,第一支架用于支撑直波导,第二支架用于支撑微环谐振腔,以使微环谐振腔与直波导悬空;微环谐振腔与直波导相互耦合;外部注入的光场通过直波导耦合进入微环谐振腔中,...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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