下载一种高价金属阳离子掺杂制备的B相VO2热敏薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:14870327

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本发明提供一种通过高价金属阳离子(M)掺杂制备的非制冷焦平面红外探测器用的高性能B相VO2热敏薄膜及其制备方法。具有优异热敏性能的二氧化钒(VO2)薄膜材料是非制冷微测辐射热计红外探测器首选的热敏电阻材料。目前使用的VO2(B)相薄膜具有电...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。

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