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本申请公开了等离子体集成开关器件。一种开关器件包括至少部分布置在密封室(314)内的第一电极(316)。密封室(314)封入等离子体相变材料。开关器件(300)包括至少部分布置在密封室(314)内的第二电极(318)。第二电极(318)与第...
该专利属于波音公司所有，仅供学习研究参考，未经过波音公司授权不得商用。

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