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本发明公开了一种碳化硅微粉过滤装置，用于真空泵抽气过程中碳化硅微粉的过滤，包括：过滤筒，用于给碳化硅微粉的过滤提供空间；进气口，设置于过滤筒侧壁下方，用于待过滤尾气的输入；出气管，设置于过滤筒的内部，出气管上端一直延伸至过滤筒的顶板处且与过...
该专利属于湖南顶立科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南顶立科技有限公司授权不得商用。

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