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描述了具有同心或大致同心的多边形槽图案的抛光垫。还描述了制造具有同心或大致同心的多边形槽图案的方法。...
该专利属于内克斯普拉纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过内克斯普拉纳公司授权不得商用。

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