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本发明公开了基于MEMS的ORP传感芯片及其制造方法。基于MEMS的ORP传感芯片包括衬底、工作电极、工作电极引线、参比电极、参比电极引线、封装胶条、固态电解质和离子导通层，工作电极、工作电极引线、参比电极和参比电极引线位于衬底的表面上，工...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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