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武汉华星光电技术有限公司
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边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法技术
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文档序号:14849237
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本发明提供一种边缘曝光机及边缘曝光区域打码方法。本发明的边缘曝光机,包括用于承载基板的载台、位于载台上方的边缘曝光遮光板与打码区遮光板、位于所述边缘曝光遮光板与打码区遮光板上方的曝光灯源、边缘宽度控制电动机、及驱动所述打码区遮光板移动的方向...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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