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本发明公开了一种抛光剂及其制备方法,所述抛光剂的原料组分包括硫酸、柠檬酸、草酸、双氧水、尿素、乙醇、表面活性剂、消泡剂和水,制备方法是将原料组分按照一定的比例和顺序进行混合得到。通过上述方式,本发明采用有机酸、无机酸等作为溶剂,提高了抛光效...该专利属于苏州市晶协高新电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市晶协高新电子材料有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种抛光剂及其制备方法,所述抛光剂的原料组分包括硫酸、柠檬酸、草酸、双氧水、尿素、乙醇、表面活性剂、消泡剂和水,制备方法是将原料组分按照一定的比例和顺序进行混合得到。通过上述方式,本发明采用有机酸、无机酸等作为溶剂,提高了抛光效...