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下载扩束器的技术资料

文档序号:14835912

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描述了一种扩束器,所述扩束器包括部分反射器、关于两个正交轴弯曲的反射式偏振器以及布置在反射式偏振器和部分反射器之间的四分之一波延迟器。扩束器适于接收入射在部分反射器上的输入光束并且透射扩束的输出光束。描述了包括扩束器的照明器和投影系统。...
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