下载一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置的技术资料

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本实用新型涉及碳化硅溶液法领域,尤其涉及一种碳化硅溶液法中实时监测并调整固液界面高度的装置,采用一种高精密度电流计并与晶体生长系统形成电流回路的感应装置,然后再通过PID反馈回路,自动调节固液界面的高度实现;此外本装置无需人工耗时观察,避免...
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