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本发明涉及一种掩膜板及其制造方法，其中，所述掩膜板的制造方法包括：提供一衬底；将所述衬底的一个表面加工成凹面；以及在所述凹面上制作掩膜图形。在本发明提供的掩膜板及其制造方法中，通过将掩膜板的掩膜面加工成凹面，使得所述掩膜板因自重弯曲时其掩膜...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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