温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于馈给高频功率的装置及具有所述装置的衬底处理设备，且更具体地说，涉及一种其中匹配器与功率分配器整合的用于馈给高频功率的装置以及一种具有所述装置的衬底处理设备。用于馈给高频功率的装置包含：输入单元，高频功率从高频电源输入到输入...
该专利属于AP系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。