下载一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:14823404

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本发明公开了一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法,具体步骤为:对单晶硅片和不锈钢薄片进行等离子体溅射清洗;过渡层沉积,采用多功能复合磁控溅射溅射设备,沉积室内初始温度为25~35 ℃,靶材与基底间距设置为7~14 cm,采用高纯...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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