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本发明公开了一种弹性润滑纳米碳环/无定型碳复合薄膜的制备方法，具体步骤为：对单晶硅片和不锈钢薄片进行等离子体溅射清洗；过渡层沉积，采用多功能复合磁控溅射溅射设备，沉积室内初始温度为25~35 ℃，靶材与基底间距设置为7~14 cm，采用高纯...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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