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本发明提供了一种片上调制的集成光学谐振腔，应用多层波导结构，实现集成光学谐振腔的有源无源器件的高度集成化设计。本发明的集成光学谐振腔为集成的上下两层结构，在下层的波导基底上制备谐振腔和传输波导，铌酸锂波导调制器制作在谐振腔上层，铌酸锂波导调...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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