温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种紫外发光器件及其制造方法，其呈现出改进的晶体质量、平坦性以及填充表面奇点的可实现性。该紫外发光器件包括：具有表面奇点的衬底；通过溅射在衬底上形成的AlN缓冲层；未掺杂AlGaN层；n型AlGaN层；发光层；由p型AlGaN制...
该专利属于丰田合成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过丰田合成株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。