下载集成电路制造方法的技术资料

文档序号:14807645

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一种集成电路制造方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括第一区域和第二区域;在半导体衬底上形成氧化层;在第二区域上覆盖光刻胶;以光刻胶为掩膜去除第一区域的氧化层;去除第二区域的光刻胶;分别在第一区域形成第一集成电路、在第二区域的氧化层...
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