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一种单颗磨粒干涉行为测试设备制造技术
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下载一种单颗磨粒干涉行为测试设备的技术资料
文档序号:14804036
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本发明公开了一种单颗磨粒干涉行为测试设备,包括光学平板、支撑系统、Y轴方向进给装置、试样夹具、工具头、Z轴设定器、Z轴设定器夹具、X轴方向进给装置、磨粒、测力系统和进给控制系统;所述测力系统包括力传感器和数据处理部分。本发明的单颗磨粒干涉行...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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