下载一种介质金属膜堆的低偏振灵敏度分色膜的制作方法的技术资料

文档序号:14800132

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本发明公开了一种介质金属膜堆的低偏振灵敏度分色膜的制作方法,首先基于介质-金属-介质结构的膜堆组合,通过光学导纳技术来确定初步的光学薄膜设计;通过光学薄膜设计软件进行膜系微调和优化,使膜系结构方便监控制作;对基片进行清洗和镀前处理,采用蒸发...
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