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第一电磁线圈(30)的冷却结构，包括：第一电磁线圈(30)，在内部形成有沿预定轴线(Z)方向延伸的空间(32)；冷却部件(20)，安装第一电磁线圈(30)的预定轴线(Z)方向的端面(30e)上并在内部形成流体的流路；以及入口配管(22)和出...该专利属于CKD株式会社;株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过CKD株式会社;株式会社尼康授权不得商用。
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第一电磁线圈(30)的冷却结构，包括：第一电磁线圈(30)，在内部形成有沿预定轴线(Z)方向延伸的空间(32)；冷却部件(20)，安装第一电磁线圈(30)的预定轴线(Z)方向的端面(30e)上并在内部形成流体的流路；以及入口配管(22)和出...