下载一种承载硅片的载板的技术资料

文档序号:14796690

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本实用新型涉及一种承载硅片的载板,包括载板本体(1),所述载板本体(1)为矩形块,所述载板本体(1)上设置有多个放置部(11),所述放置部(11)沿所述载板本体纵向和横向均匀分布;所述放置部(11)由底板(111)和侧板(112)组成的下凹...
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