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晶片的处理方法技术
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文档序号:14794700
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本发明的目的在于,提供一种晶片的处理方法,其是在借助胶粘剂组合物将晶片固定于支承板的状态下对晶片进行处理的晶片的处理方法,所述晶片的处理方法虽然具有实施药液处理、加热处理或伴随发热的处理的晶片处理工序,但仍然可在晶片处理工序时维持充分的粘接...
该专利属于积水化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。
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